P78A.Z200系列壓電掃描臺(tái)是一維Z向運(yùn)動(dòng)的納米定位臺(tái)，它的行程可達(dá) 200μm，中心具有 Φ25mm 通孔，適用于透射光應(yīng)用
特點(diǎn)
• Z 向運(yùn)動(dòng)，行程達(dá) 200μm
• 可正向、臥式或倒置使用
• 可定制真空版本
應(yīng)用
• 表面檢測(cè)
• 顯微成像
• 干涉
• 半導(dǎo)體加工與測(cè)試
• 真空環(huán)境
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