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產(chǎn)品名稱:閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺

產(chǎn)品型號:XYZ65N81E26

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺,該平臺配備了增量式編碼器,對運動行程、精度等可進行精確控制,且精度可達1.5μm。

更新日期:2025-02-24

XYZ65N81E26閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺的詳細資料:

閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺 特點:


XYZ三維運動
配有閉環(huán)增量式編碼器
行程±12.5mm/軸
納米級分辨率
精度達1.5μm

運動原理:XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是采用壓電螺釘驅(qū)動,壓電螺釘?shù)倪\動是通過內(nèi)部壓電陶瓷的微運動,驅(qū)動螺紋桿旋轉(zhuǎn),從而沿著螺紋向前運動。螺紋桿的推動,使得載物移動平臺臺面的直線運動。


圖片

閉環(huán)三維壓電螺釘運動平臺 技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品設計的參數(shù)如下表所示。


型號
XYZ65N81E26
運動自由度
X
集成傳感器類型
增量式編碼器
標稱行程范圍
±12.5mm
速度
50μm/s
閉/開環(huán)分辨率
80nm
線性度
1.5μm
重復度
1.5μm
承載能力
1.5kg
工作溫度
0~50℃
質(zhì)量(包含電纜)
2.61kg
材質(zhì)
鋁、鋼
電纜長度
1.5m
推薦控制器
E53.D1E



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