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產(chǎn)品名稱:芯明天放大機構式壓電掃描臺

產(chǎn)品型號:P17

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:芯明天放大機構式壓電掃描臺 P17壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發(fā)設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內(nèi)置高可 靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

更新日期:2025-02-23

P17芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料:

   芯明天放大機構式壓電掃描臺P17壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發(fā)設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內(nèi)置高可 靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)XY軸210μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

芯明天放大機構式壓電掃描臺P17壓電掃描臺特性

•大位移210μm

• 大承載1kg

• 通孔尺寸:60×60mm

• 閉環(huán)重復定位精度高 • 響應速度快

XY二維掃描臺

      P17二維壓電掃描臺中心大通孔,滿行程位移210μm。

大通孔、大行程、穩(wěn)定性好、響應速度快

   P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度 掃描臺,可以實現(xiàn)XY軸210×210μm的位移行程,優(yōu)異 的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。

    閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01系列 閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心 60×60mm大通孔,適合工業(yè)自動化中的晶圓定位或微 操作等應用。

P17壓電掃描臺典型應用

• 圖像處理與穩(wěn)定    
• 掃描顯微
• 干涉/計量    • 表面檢測
• 晶圓定位    • 微操作

應用實例
    P17系列壓電掃描臺適用于需要大行 經(jīng)成功應用于半導體測試、表面結構分析 天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。

P17壓電掃描臺技術參數(shù):

 

型號

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

 

P17.XY200S P17.XY200K

 

單位

運動自由度

X、Y

 

標稱行程范圍(0~120V)

150/軸

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

210/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

 

通孔尺寸

60×60

mm

閉/開環(huán)分辨率

8/5

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<15

µrad

推/拉力

40/15

N

運動方向剛度

X0.2/Y0.2

N/μm±20%

空載諧振頻率

X240/Y400

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

30/5

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

50

 

Hz±20%

行程

10

大承載

1

kg

靜電容量

3.6/軸

μF±20%

材質(zhì)

鋼、鋁

 

重量

660

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。

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